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半导体晶圆传输真空机械手多自由度关节永磁直驱电机系列化产品

开发了2个系列5种型号的电机产品,具有以下优势:

  • 电机结构紧凑小巧,无轴、轴承、外壳和端盖,功率密度高;

  • 永磁体和定子采用了新型的加工工艺,具有防腐蚀、耐高温的特点;

  • 部件惯性较低,响应时间短,定位精度高,适用于高精度应用场合;

  • 电机集成到设备机械结构中,配置灵活,提高了系统的整体性能。